Магнетронная приставка МП -104

Магнетронная приставка МП -104 предназначена нанесения покрытий методом магнетронного распыления.

Конструкция

Магнетронная приставка представляет собой планарный магнетрон, состоящий из охлаждаемого водой катода 13 и анода 12. Снаружи к магнетрону осуществляется подвод напряжения через разъем 1 на катод. Катод изолирован от анода 12 изолятором 7.

Магнитная система магнетрона состоит из магнита кольцевого 10 (NdFeB) и цилиндрического 11, магнитопровода 14.

Магнетрон устанавливается на основании рабочего объема в установочное место и фиксируется накидной гайкой 3. Вакуумное уплотнение обеспечивается с помощью уплотнителя 16. В другое установочное место основания рабочего объема устанавливается механизм поворота заслонкой.

Источники питания:

• блок питания постоянного тока;
• блок питания переменного тока МВ-0,5 или МВ-1.

Рис.1. Схема магнетронной приставки МП -104 , где:
1 – разъем, 2 – кожух, 3,17 – шайба, 4 – гайка, 5,18 – втулка, 6 – изолятор, 7 – кольцо, 8,19 – корпус, 9 – прижимная гайка, 10 – магнит, 11 – магнит, 12 – анод, 13 – катод, 14 – магнитопровод, 15 – винт, 16 – уплотнитель I dy52, 20 – штуцер.